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horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 更新日期：2025-03-02

簡(jiǎn)要描述：horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX

小量程0-100SLM，大量程0-500SLM
高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.)
模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

產(chǎn)品詳情

horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z552MGX/Z562MGX

高精度，量程0-200SLM、0-500SLM

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX屬于大流量質(zhì)量流量控制器，又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡(jiǎn)稱MFC。

SEC-Z552的量程有0-300SLM，

SEC-Z562的量程時(shí)0-500SLM。


氣體質(zhì)量流量控制器的功能：控制管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。


horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552MGX/Z562MGX是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中。


我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，


產(chǎn)品參數(shù)

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX





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